11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称“AEMD平台”）迎来十周年庆，同时平台正式开放二、三期运行，此举有望将交大微纳科学基础与应用研究能力提升到更高水平。

　　十余年前，AEMD平台在交大相关学科发展急需微纳加工实验工艺平台的背景下应运而生，以服务电子、物理、材料、化工等多学科的原创性和高水平科研为目标一路发展至今，在光电通信、MEMS、封装等领域已取得了显著成果。

　　2014年AEMD一期西区实验室正式开放运行后，在学校及电院支持下，追加逾3亿元投入平台二、三期建设，建成1200余平米、洁净度从十级到千级标准的东区超净间。现整体拥有近 1800 平米东、西区两个净化实验室，6、8英寸先进微纳加工实验线各一条，具备多层级光刻图形化、薄膜生长与沉积、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、先进封装、表征与测试等完善的微纳加工与测试能力，新增全自动深紫外步进式光刻机、离子注入机、分子束外延、激光诱导玻璃刻蚀、晶圆键合等先进的微纳加工与封装设备，有效增强了平台在有源电/光器件、MEMS、先进三维封装等领域的科研服务支撑能力。

　　十年来，平台为上海交通大学多学科发展和交叉融合作出了突出贡献，同时平台面向国家需求，积极对接校外科研院所和科技企业的项目需求，助推科研项目基础与应用研究进程，促进产业关键技术创新与突破。

　　上海交通大学党委常委、副校长蒋兴浩表示，希望AEMD平台能不断产出国内外基础性、前瞻性、特色性的原创成果，努力建设成为能够实现重大突破的开放性科研平台，深化平台的育人功能，为加快实现我国高水平科技自立自强贡献更大的力量。

　　近年来，随着万物互联、人工智能等技术的飞速发展，对微纳技术也提出了更高的要求， AEMD在一期科研条件的支持下，在新型光电器件、MEMS器件等方面提前布局，支撑校内外科研团队在相关领域实现突破，取得了丰硕的成果。在此基础上，面向国家重大需求，服务交大双一流建设目标，AEMD二、三期又针对有源电/光器件、MEMS、异质异构先进封装等方面做前瞻布局，以期将交大微纳科学基础与应用研究能力提升到更高水平。（光明日报全媒体记者颜维琦 通讯员 魏娜）